2023年03月発行
ターボ回転機を用いたブレイトンサイクルにおける混合冷媒の利用
SR4000HTによるAlGaN系遠紫外LED成長の実証とAlGaNのAl組成及び膜厚制御による均一性改善技術の開発
高アスペクト比構造への高濃度H2O2ガス供給装置(Peroxidizer®)を用いたALD成膜プロセス
サロゲートモデルを利用した半導体用材料ガス供給システムのシミュレーション
金属有機構造体を利用した微量水分計
カスケード型凝縮器におけるN2Oの濃縮と蓄積
CF4蒸留法による炭素-13同位体濃縮プロセス
重水素化芳香族化合物のフロー式合成法の開発
高炉シャフト予熱用高温ガス発生装置
リモート支援システムの構築
細胞凍結用液化窒素式プログラムフリーザ「クライオセルマスター™」CM-300
酸化ガリウム向けMOCVD装置「FR2000-OX」
銅ナノ粒子を用いた導電性インク
新炭酸ボトルの開発
プレハブ配管向け溶接倣い装置「サンアークXZスライダー」
Face Down式MOCVD装置(FR8000-N)
Metal-organic chemical vapor deposition system for GaN epi-wafer mass production “UR26KCCD”
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