No.25（2006年）

2006年11月28日発行

技術報告

大型量産GaN用MOCVD装置の開発	PDFダウンロード（860KB）
塩素ガスを用いたGaN-MOCVD装置反応炉部品の洗浄装置（CLEANDEX-100）の開発	PDFダウンロード（560KB）
次世代SiOCH系低誘電率膜向けプリカーサーの開発－Si-C2H4-Siネットワークの導入－	PDFダウンロード（763KB）
乾式除害装置のシミュレーション	PDFダウンロード（1,194KB）

技術紹介

省エネ型PSA式窒素ガス発生装置の制御系開発	PDFダウンロード（456KB）
亜鉛めっき鋼板のハイブリッド溶接におけるシールドガスの影響	PDFダウンロード（333KB）
超深溶け込みティグ溶接用シールドガスの開発	PDFダウンロード（299KB）
金属焼結における脱脂技術	PDFダウンロード（245KB）
化合物半導体向けアンモニアガス精製装置の開発	PDFダウンロード（319KB）
断熱圧縮熱抑制技術の開発（スロースタートバルブの開発）	PDFダウンロード（600KB）
安定同位体製品の精密分析技術	PDFダウンロード（433KB）
半導体製造装置の排ガス分析技術	PDFダウンロード（316KB）
1段希釈重量充填法による二酸化炭素標準ガスの調製	PDFダウンロード（304KB）
Linde社製新型ヘリウム液化機シリーズとその運転制御	PDFダウンロード（506KB）

設備紹介

窒素中の一酸化炭素除去装置	PDFダウンロード（303KB）
貯槽内液化ガス残量（液面）情報収集システム	PDFダウンロード（501KB）

商品紹介

2Dバーコード凍結保存試料管理システム	PDFダウンロード（184KB）
低温粉砕システム	PDFダウンロード（303KB）
シロキサン除去装置	PDFダウンロード（169KB）
Hi-SAVER　SF6ガス回収サービス事業	PDFダウンロード（505KB）
サーモス 真空断熱パスタクッカー	PDFダウンロード（155KB）
小型燃焼式排ガス処理装置｢リトルクール｣シリーズ	PDFダウンロード（145KB）
大気圧プラズマ式排ガス処理装置	PDFダウンロード（126KB）
船舶用PSA式窒素ガス発生装置	PDFダウンロード（173KB）
現地組み立て式CE100A型二重殻貯槽	PDFダウンロード（140KB）
横置容量可変型ドライガスシールポンプ	PDFダウンロード（142KB）
原単位0.195kWh/Nm³を達成した高純度窒素製造装置	PDFダウンロード（149KB）
液を併産する内部圧縮型空気分離装置	PDFダウンロード（157KB）

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