ターボ回転機を用いたブレイトンサイクルにおける混合冷媒の利用

SR4000HTによるAlGaN系遠紫外LED成長の実証とAlGaNのAl組成及び膜厚制御による均一性改善技術の開発

高アスペクト比構造への高濃度H₂O₂ガス供給装置（Peroxidizer®）を用いたALD成膜プロセス

サロゲートモデルを利用した半導体用材料ガス供給システムのシミュレーション

金属有機構造体を利用した微量水分計

カスケード型凝縮器におけるN₂Oの濃縮と蓄積

CF₄蒸留法による炭素-13同位体濃縮プロセス

重水素化芳香族化合物のフロー式合成法の開発

高炉シャフト予熱用高温ガス発生装置

リモート支援システムの構築

細胞凍結用液化窒素式プログラムフリーザ「クライオセルマスター™」CM-300

酸化ガリウム向けMOCVD装置「FR2000-OX」

銅ナノ粒子を用いた導電性インク

新炭酸ボトルの開発

プレハブ配管向け溶接倣い装置「サンアークXZスライダー」

Face Down式MOCVD装置（FR8000-N）

Metal-organic chemical vapor deposition system for GaN epi-wafer mass production “UR26KCCD”