排ガス処理装置-エレクトロニクス分野

アンモニア処理に適した燃焼状態を維持するため、排ガス中の水素量の増減に対応可能（特許第5785979号）

本特許は、電子デバイスを製膜するデバイス製造装置から排出される水素およびアンモニアを含む排ガスを、確実に燃焼方式で除害処理することができる技術に関するものです。

本排ガス処理装置は、排ガス中の水素を、アンモニアを処理するための燃料として使用します。
そこで、排ガス中の水素濃度を装置に設けられた2つの水素濃度計で常時測定し、予め決められた濃度より低くなった場合、不足分の水素を添加します。
これにより、燃焼式除害装置においてアンモニアを除害処理可能な燃焼温度に維持することができ、かつ排ガス中の水素を使用するので、効率よく除害処理することができます。