展示内容
　ブースでは、今後メモリー製造を中心に需要伸長が見込まれるモリブデンジクロライドジオキサイドなどの固体プリカーサーの製品紹介に加え、窒化膜形成プロセスにおいてプロセス温度の低温化への寄与が期待されるヒドラジン等、先端プロセスに特化した半導体材料ガスの展示をおこないます。

「BRUTE^Ⓡ-Hydrazine」容器外観（1,000g 充填用容器㊧と250g 充填用容器）

　また、半導体製造工場の生産性向上に向けたソリューションとして、「Intelligent Gas Supplying System（IGSS)」を提案します。IGSS は、重労働、危険作業、人手不足などのガス供給現場での課題を当社が持つガスハンドリングのノウハウとデジタルテクノロジーを駆使して解決するシステムです。本システムを構成する機能の１つである「Cdrive」は、最大100kg あるガス容器を容器保管庫からガス消費設備まで搬送し、シリンダーキャビネット内で容器の出し入れをおこなう、省力化に寄与した自動搬送ロボットです。ブースでは「Cdrive」のデモ走行を行います。
　その他、カーボンニュートラル社会の構築に寄与する製品、及び本年６月から運用を開始した特殊ガス製品の鉄道輸送についてもジオラマ展示します。

IGSS のシステムの一部である『Cdrive』のデモ走行を予定（画像は IGSS のイメージ）

出展概要
イベント名：SEMICON Japan 2025
場所：東京ビッグサイト（東京国際展示場）
開催日時：2025 年12 月17 日(水)～19 日(金) 10：00～17：00
来場・セミナー：こちらからご登録いただき、印刷してご来場ください
弊社ブース：西1 ホール 小間番号：W1877
※弊社ブースにお越しの方はくじ引きにご参加いただけます。空クジ無し、サーモスのタンブラーなど豪華景品もご用意しておりますので是非お立ち寄りください

SEMICON JAPAN とは？
SEMICON Japan はDX 時代を支え、先端技術のコアである半導体を主軸に、半導体産業にお
ける製造技術、装置、材料をはじめ、車やIoT 機器などの半導体を搭載した様々なアプリケー
ション等を展示するイベントです。