日本酸素ホールディングスグループの日本産業ガス事業会社である大陽日酸株式会社（本社：東京都品川区、代表取締役社長：永田研二、以下 当社）は、持続可能な半導体製造工程の実現に向けて、環境負荷低減を可能とするガス技術開発を加速することを決定しました。

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　日本酸素ホールディングスグループは、中期経営計画における重点戦略の中で、「サステナビリティ経営の推進」、「カーボンニュートラル社会に向けた新事業の探求」、「エレクトロニクス事業の拡大」を掲げており、特にグループの製品・技術を通じて、世界の温室効果ガス（GHG）削減への貢献を目指しています。これら戦略に沿って、当社では、半導体製造工程における環境負荷低減に貢献するため、ナノエレクトロニクスとデジタル技術における世界有数の研究・イノベーション拠点であるimec（Interuniversity Microelectronics Centre、本社：ベルギー ルーベン、社長兼 CEO：リュック・バン・デン・ホーヴェ）が進める半導体業界全体の環境荷低減に関する研究プログラム「SSTS^※」に参画し共同開発を進めます。
※Sustainable Semiconductor Technologies and Systems

　この共同開発にあたっては日本酸素ホールディングスグループの欧州事業会社であるNippon Gases（本社：スペイン マドリード、代表取締役社長：ラウル・ジュディチ、以下 NGE）と協働して進めます。当社とNGEのガスハンドリング・ガス化学に関する知見とimecが有する半導体製造に関する広い知見との相乗効果によって、持続可能な社会に貢献する技術開発を推進します。

本件に関するお問い合わせ
大陽日酸株式会社
広報部: 03-5788-8015