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長年に渡る排ガス処理装置（除害装置）の開発・設計・製作のノウハウをもとに、お客様のご使用条件にあった最適な設備をご提供致します。吸着式除害装置では、処理対象ガスに最適な乾式除害剤の組み合わせにより、確実に排ガス処理を行います。研究用の小規模なものから生産工場用の大型装置まで豊富なラインナップで対応します。

長年に渡る排ガス処理装置（除害装置）の開発・設計・製作のノウハウをもとに、お客様のご使用条件にあった最適な設備をご提供致します。燃焼式除害装置は、CVDプロセスやエッチングプロセスで排出される可燃性、毒性ガス及びPFC等の難分解性ガスを副生成物（NOx、CO等）を抑制し、高効率で燃焼分解します。