No.26（2007年）

2007年11月29日発行

技術報告

有機金属気相成長法によるGaN系化合物半導体成長に対するNH3ガス中の水分の影響－On-Site不純物分析技術の確立とNH3ガス精製装置の有効性－	PDFダウンロード（1,258KB）
HfO2系High-k材料向けin-situチャンバークリーニング技術の開発	PDFダウンロード（898KB）
高圧酸素供給における安全技術の確立 －有機系ガスケットの発火特性把握－	PDFダウンロード（922KB）
過渡的物質移動帯の解析と吸着速度の推算方法	PDFダウンロード（740KB）
粗アルゴン塔へのフィードガス中の窒素モニターの開発	PDFダウンロード（1,260KB）

技術紹介

低純度酸素製造プロセスにおけるHIDiC利用技術	PDFダウンロード（672KB）
アルミニウム薄板の燃焼試験	PDFダウンロード（541KB）

設備紹介

充填圧力70MPa対応の移動式水素ステーション	PDFダウンロード（507KB）
酸素同位体ガス充填設備	PDFダウンロード（599KB）

商品紹介

エムジーシールドA1000・N1000	PDFダウンロード（582KB）
マルチセル型水分透過量測定装置	PDFダウンロード（564KB）
ソニックノズル式ガス混合装置「サンブレンダー」	PDFダウンロード（570KB）
液化窒素式浸漬冷却装置	PDFダウンロード（559KB）
MIGアークブレージング用シールドガス「MBサンアーク」	PDFダウンロード（555KB）
小口径管溶接部用超音波探傷検査装置「ウェルドソニック」	PDFダウンロード（561KB）
TIGアーク観察CCDカメラ「TIGアークモニター」	PDFダウンロード（483KB）
PFC対応排ガス処理装置リトルクール SCRN-5500 シリーズ	PDFダウンロード（525KB）
残留農薬試験用安定同位体（SI）内部標準物質	PDFダウンロード（542KB）
コンパクトで広い運転範囲を持つ内部圧縮型空気分離装置	PDFダウンロード（566KB）
ガラス製透明デュワー瓶	PDFダウンロード（469KB）

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