ガス供給装置 -エレクトロニクス分野

ジュール=トムソン効果で顕著に温度低下するガスを長期間供給可能（登録特許第5462607号）

本特許は、モノシランや三フッ化窒素等、ジュール＝トムソン効果によって減圧時に顕著に温度が低下するガスを供給する際、減圧時の温度低下を抑制しつつ、ガスを供給する技術です。

本特許の供給方法は、ガス供給ライン上の減圧弁、および減圧弁の上流に設けられた熱交換器に温水を流します。このことで、減圧される前のガスを温水で加温し、減圧後のガスの温度が低くなり過ぎることを防ぎます。また、減圧弁自体を内部より温水で加熱することで、効率的に減圧弁の凍結を防止します。この結果、減圧弁におけるジュール=トムソン効果での温度低下による凍結を防止しつつ、ガスを長期間連続して供給することができます。