製品詳細

長年に渡る排ガス処理装置（除害装置）の開発・設計・製作のノウハウをもとに、お客様のご使用条件にあった最適な設備をご提供致します。燃焼式除害装置は、CVDプロセスやエッチングプロセスで排出される可燃性、毒性ガス及びPFC等の難分解性ガスを副生成物（NOx、CO等）を抑制し、高効率で燃焼分解します。