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SiH4　　モノシラン
Silane
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半導体材料ガス(Electronics Gases)｜太陽電池(Photovoltaic)｜CVD(Chemical Vapor Deposition)
AsH3　　アルシン
Arsine
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半導体材料ガス(Electronics Gases)｜シリコン半導体・液晶(Silicon Semiconductor・LCD)｜イオン注入(Ion implantation)
半導体材料ガス(Electronics Gases)｜化合物半導体(Compound Semiconductor)｜CVD(Chemical Vapor Deposition)
半導体材料ガス(Electronics Gases)｜化合物半導体(Compound Semiconductor)｜イオン注入(Ion implantation)
PH3　　ホスフィン
Phosphine
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B2H6 mix　　ジボラン
Diborane Mixture
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SiH2Cl2　　ジクロロシラン
Dichlorosilane
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GeH4　　ゲルマン
Germane
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Si2H6　　ジシラン
Disilane
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SiF4　　四フッ化ケイ素
Silicon Tetrafluoride
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WF6　　六フッ化タングステン
Tungsten Hexafluoride
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NH3　　アンモニア
Ammonia
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C3H6　　プロピレン
Propylene
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NF3　　三フッ化窒素
Nitrogen Trifluoride
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C2F6　　フロン-116
Hexafluoro Ethane
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C4F6　　ヘキサフルオロ1,3ブタジエン
Hexafluoro-1,3-butadiene
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CO　　一酸化炭素
Carbon monoxide
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C3F8　　フロン-218
Octafluoro Propane
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C5F8　　オクタフルオロシクロペンテン ZFL-58
Octafluorocyclopentene
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CF4　　フロン-14
Tetrafluoromethane
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COS　　硫化カルボニル
Carbonyl Sulfide
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CH2F2　　フロン-32
Difluoromethane
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