一酸化炭素

化学式Chemical formulas

CO

英名English Notation

Carbon monoxide

純度Purity

>99.995%

容器サイズCylinder

48L 9.4L

混合製品における製造可能濃度Mixture Concentration

1ppm~50%
CO2ベース:100ppm

分類Classification

半導体材料ガス(Electronics Gases)|シリコン半導体・液晶(Silicon Semiconductor・LCD)|エッチング(Dry etching)
半導体材料ガス(Electronics Gases)|シリコン半導体・液晶(Silicon Semiconductor・LCD)|クリーニング(Cleaning)

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