ヘキサフルオロ1,3ブタジエン

化学式Chemical formulas

C4F6

英名English Notation

Hexafluoro-1,3-butadiene

純度Purity

>99.9%

容器サイズCylinder

47L 10L

分類Classification

半導体材料ガス(Electronics Gases)|シリコン半導体・液晶(Silicon Semiconductor・LCD)|エッチング(Dry etching)
半導体材料ガス(Electronics Gases)|シリコン半導体・液晶(Silicon Semiconductor・LCD)|クリーニング(Cleaning)

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