三フッ化窒素

化学式Chemical formulas

NF3

英名English Notation

Nitrogen Trifluoride

純度Purity

>99.99%

容器サイズCylinder

20ft/40ft ISOトレーラ(8本組) 47L 10L

混合製品における製造可能濃度Mixture Concentration

10ppm~50%
O2ベース:200ppm以上

分類Classification

半導体材料ガス(Electronics Gases)|シリコン半導体・液晶(Silicon Semiconductor・LCD)|エッチング(Dry etching)
半導体材料ガス(Electronics Gases)|シリコン半導体・液晶(Silicon Semiconductor・LCD)|クリーニング(Cleaning)
半導体材料ガス(Electronics Gases)|太陽電池(Photovoltaic)|エッチング(Dry etching)
半導体材料ガス(Electronics Gases)|太陽電池(Photovoltaic)|クリーニング(Cleaning)

より詳細な情報が必要な場合は、お手数ですが、以下よりカタログのダウンロードをお願い致します。
カタログに記載のない内容に関しましては、お問合せフォームよりお問合せ願います。

If you require more detailed information, please download the catalog from the link below.
For any content not included in the catalog, please contact us via the inquiry form.