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NF3　　三フッ化窒素
Nitrogen Trifluoride
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半導体材料ガス(Electronics Gases)｜太陽電池(Photovoltaic)｜エッチング(Dry etching)
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C2F6　　フロン-116
Hexafluoro Ethane
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C4F6　　ヘキサフルオロ1,3ブタジエン
Hexafluoro-1,3-butadiene
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CO　　一酸化炭素
Carbon monoxide
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C3F8　　フロン-218
Octafluoro Propane
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C5F8　　オクタフルオロシクロペンテン ZFL-58
Octafluorocyclopentene
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CF4　　フロン-14
Tetrafluoromethane
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COS　　硫化カルボニル
Carbonyl Sulfide
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CH2F2　　フロン-32
Difluoromethane
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BCl3　　三塩化ホウ素
Boron Trichloride
半導体材料ガス(Electronics Gases)｜シリコン半導体・液晶(Silicon Semiconductor・LCD)｜CVD(Chemical Vapor Deposition)
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CHF3　　フロン-23
Trifluoromethane
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CH3F　　フロン-41
Methyl Fluoride
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Cl2　　塩素
Chlorine
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HFO-1234yf　　HFO1234yf
HFO-1234yf
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SiCl4　　四塩化ケイ素
Tetra Chrolo Silane
半導体材料ガス(Electronics Gases)｜シリコン半導体・液晶(Silicon Semiconductor・LCD)｜Epi(Epitaxial growth)
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