フロン-23

化学式Chemical formulas

CHF3

英名English Notation

Trifluoromethane

純度Purity

>99.995%

容器サイズCylinder

47L 10L 3.4L

混合製品における製造可能濃度Mixture Concentration

50ppm~10%

分類Classification

半導体材料ガス(Electronics Gases)|シリコン半導体・液晶(Silicon Semiconductor・LCD)|エッチング(Dry etching)

より詳細な情報が必要な場合は、お手数ですが、以下よりカタログのダウンロードをお願い致します。
カタログに記載のない内容に関しましては、お問合せフォームよりお問合せ願います。

If you require more detailed information, please download the catalog from the link below.
For any content not included in the catalog, please contact us via the inquiry form.