エレクトロニクス/事業概要

独自ノウハウにより電子材料ガスを安全に供給するシステム

半導体などの製造工場で使われているSiH4、H2Se、B2H6、AsH3等のさまざまな材料ガスは、高度なハンドリング技術が要求されます。大陽日酸は、材料ガスの発生・製造・精製・供給技術を駆使して、確かな品質と高い安全性を実現しています。また、さまざまなガスの種類や取り替え本数などを自在に設定・拡張可能なシリンダーキャビネットなど、オリジナリティのある製品を提供しています。

シリンダーキャビネット

SiH4 ISOコンテナー

徹底した品質管理とクリーン化技術による、高品質、高精度なサービスのご提供

徹底した品質管理体制のもとで高品質ガスを安定供給することで、お客様の信頼に応えています。排ガス処理装置は、IC、LSI、VLSI、化合物半導体の製造工程で使用する各種材料ガスの排気について反応性毒性ガスを完全捕捉し、安全なガスとして排気できます。世界でトップシェアのガス精製装置は、不純物除去の極限に挑戦したガス総合技術の結晶です。高純度配管システムは、大陽日酸ならではの高精度な施工技術が活かされています。

排ガス処理装置

高純度ガス精製装置

高感度微量酸素分析計

高純度ガス供給配管工事