〒323-0819 栃木県小山市大字横倉新田498 TEL.0285(27)3840 FAX.0285(27)7377
高純度ガス、標準ガス、半導体材料ガス、各種混合ガスなどを扱う、日本最大級の特殊ガス工場です。 とりわけ大気汚染や車の排気ガスの測定などに使用される標準ガスのオーダーメイド製造能力には、各産業界から高い評価をいただいています。
〒210-0866 神奈川県川崎市川崎区水江町3-3 TEL.044(288)4761 FAX.044(276)1947
半導体用材料ガスを製造する「半材ガス棟」、およびJCSS零位調整用ガスや高々圧ガスなどを製造する「特殊ガス棟」の2施設が稼動しています。 近年、国内および海外の半導体メーカー様から高品質なSiH2Cl2(ジクロロシラン)、COS(硫化カルボニル)への需要が高まり、ハイレベルなニーズにお応えするため特殊ガスの生産体制を増強しました。 なお、ジクロロシランおよび硫化カルボニルは大陽日酸グループ内で川崎工場のみが扱っています。
〒518-1403 三重県伊賀市炊村2500 TEL.0595(46)1316 FAX.0595(46)1774
当社の4工場の中で最大規模を誇る、半導体材料ガスと高純度ガスの専門工場です。 半導体材料ガス製造では、「ジボラン棟」「モノシラン棟」「MO棟」「容器整備棟」などの専用棟があり、国内・海外の半導体メーカー様への高品質で迅速な供給を行う一大拠点として活動しています。
〒803-0802 福岡県北九州市小倉北区東港2-3-1 TEL.093(571)8585 FAX.093(571)8818
主に台湾、韓国、中国などの海外圏および九州、中国・四国地域への特殊ガスの製造・供給拠点として活動している工場です。 これまでのわが国の半導体産業の発展を支え、研究機関から大規模ライン工場まで、1本から大量ロットまで、フレキシブルに対応してきました。 近年はニーズの高いB2H6(ジボラン)、PH3(ホスフィン)の製造設備を増強するなど、供給体制をより強化しています。
製品一覧
半導体材料ガス
高純度ガス
標準ガス
スプレー缶
自動車排ガス試験用ガス