特殊ガス４つの工場

〒323-0819　栃木県小山市大字横倉新田498
TEL.0285（27）3840　FAX.0285（27）7377

• [ : ]
  Jcss
• [ : ]
  MRA（和文）
• [ : ]
  MRA（英文）

特徴

高純度ガス、標準ガス、半導体材料ガス、各種混合ガスなどを扱う、日本最大級の特殊ガス工場です。
とりわけ大気汚染や車の排気ガスの測定などに使用される標準ガスのオーダーメイド製造能力には、各産業界から高い評価をいただいています。

主な取り扱い製品

• 高純度ガス（ゼロガス、キャリアガス、雰囲気用ガスなど）
• 標準ガス（大気汚染分析、自動車排気ガス分析、石油化学・製鉄工業分野で使用される分析計の校正用など）
• 混合ガス（金属熱処理、還元試験、エキシマレーザ用など）
• 半導体材料ガス（B₂H₆混合ガス、SDS製品など）
• その他（スプレー缶詰め標準ガスなど）

〒210-0866　神奈川県川崎市川崎区水江町3-3
TEL.044（288）4761　FAX.044（276）1947

• [ : ]
  Jcss

特徴

半導体用材料ガスを製造する「半材ガス棟」、およびJCSS零位調整用ガスや高々圧ガスなどを製造する「特殊ガス棟」の2施設が稼動しています。
近年、国内および海外の半導体メーカー様から高品質なSiH₂Cl₂（ジクロロシラン）、COS（硫化カルボニル）への需要が高まり、ハイレベルなニーズにお応えするため特殊ガスの生産体制を増強しました。
なお、ジクロロシランおよび硫化カルボニルは大陽日酸グループ内で川崎工場のみが扱っています。

主な取り扱い製品

• 硫化カルボニル（シリコンプロセスのエッチング用）
• ジクロロシラン（シリコン半導体の材料ガス）
• 高純度ガス（ゼロガス、キャリアガス、雰囲気用ガスなど）
• 混合ガス（電球封入、還元試験、放射線測定用など）
• 高々圧ガス

〒518-1403　三重県伊賀市炊村2500
TEL.0595（46）1316　FAX.0595（46）1774

特徴

当社の4工場の中で最大規模を誇る、半導体材料ガスと高純度ガスの専門工場です。
半導体材料ガス製造では、「ジボラン棟」「モノシラン棟」「MO棟」「容器整備棟」などの専用棟があり、国内・海外の半導体メーカー様への高品質で迅速な供給を行う一大拠点として活動しています。

主な取り扱い製品

• 高純度ガス（キャリアガス、雰囲気用ガスなど）
• 半導体材料ガス（ドーピング、エピタキシャル、クリーニング、エッチング用など）
• 化合物半導体材料ガス（AsH3、PH3、B2H6など）
• 太陽光発電向けガス（SiH4など）

〒803-0802　福岡県北九州市小倉北区東港2-3-1
TEL.093（571）8585　FAX.093（571）8818

特徴

主に台湾、韓国、中国などの海外圏および九州、中国・四国地域への特殊ガスの製造・供給拠点として活動している工場です。
これまでのわが国の半導体産業の発展を支え、研究機関から大規模ライン工場まで、1本から大量ロットまで、フレキシブルに対応してきました。
近年はニーズの高いB₂H₆（ジボラン）、PH₃（ホスフィン）の製造設備を増強するなど、供給体制をより強化しています。

主な取り扱い製品

• 高純度ガス （キャリアガス、雰囲気用ガスなど）
• 半導体材料ガス（ドーピング、エピタキシャル、フィルミング、クリーニング、エッチング用など）
• 混合ガス（金属熱処理用、鉄鉱石の還元試験用、溶断用、レーザ発振用など）