高純度ガス

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高純度ガス

特定の不純物が一定濃度以下で保証された固有の性質を持つ単成分の圧縮ガスおよび液化ガスです。
幅広い産業において、酸化、燃焼の防止や分析機器の校正用、キャリアガス、プラズマの発生、半導体製造プロセスの酸化材や希釈など多岐にわたる用途でご利用いただいております。

製品一覧

無機ガス

半導体を製造する上で必要なパージガス、キャリアガス（半導体材料ガス送給）等の製品群です。

有機ガス

半導体のアモルファスカーボン（マスク工程）を構成する上で必要な高純度な炭化水素ガスをラインナップしております。

希ガス

主にランプ用途・半導体ではイオン注入・リソグラフィー用途で使用されている希ガス（Ne、Xe、Kr）をラインナップしております。