六フッ化硫黄

化学式Chemical formulas

SF6

英名English Notation

Sulfur Hexafluoride

純度Purity

>99.999%

容器サイズCylinder

47L 10L 3.4L

混合製品における製造可能濃度Mixture Concentration

1ppm~50%

分類Classification

半導体材料ガス(Electronics Gases)|シリコン半導体・液晶(Silicon Semiconductor・LCD)|その他(Other)

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