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SiHCl3　　トリクロロシラン
Tri Chrolo Silane
半導体材料ガス(Electronics Gases)｜シリコン半導体・液晶(Silicon Semiconductor・LCD)｜Epi(Epitaxial growth)
SiCl4　　四塩化ケイ素
Tetra Chrolo Silane
半導体材料ガス(Electronics Gases)｜シリコン半導体・液晶(Silicon Semiconductor・LCD)｜Epi(Epitaxial growth)
半導体材料ガス(Electronics Gases)｜シリコン半導体・液晶(Silicon Semiconductor・LCD)｜CVD(Chemical Vapor Deposition)
半導体材料ガス(Electronics Gases)｜シリコン半導体・液晶(Silicon Semiconductor・LCD)｜エッチング(Dry etching)
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