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C5F8　　オクタフルオロシクロペンテン ZFL-58
Octafluorocyclopentene
半導体材料ガス(Electronics Gases)｜シリコン半導体・液晶(Silicon Semiconductor・LCD)｜エッチング(Dry etching)
C5F8　　オクタフルオロシクロペンテン
Octafluorocyclopentene
標準ガス(Standerd Gases)｜一般標準ガス(Standerd Gases)｜有機成分(Organic Ingredients)
o-C6H4(CH3)2　　オルトキシレン
o-Xylene
標準ガス(Standerd Gases)｜一般標準ガス(Standerd Gases)｜有機成分(Organic Ingredients)
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