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VAC H2+72GeF4　　VAC H2+72GeF4
VAC 72Ge-enrichedGermanium tetrafluoride, hydrogen
半導体材料ガス(Electronics Gases)｜シリコン半導体・液晶(Silicon Semiconductor・LCD)｜イオン注入(Ion implantation)
VAC H2+11BF3　　VAC H2+11BF3
VAC 11B-enriched boron trifluoride, hydrogen
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