研究・開発/大陽日酸技報

No.29(2010年)

2010年12月08日発行

巻頭言

大陽日酸100周年を迎えて PDFダウンロード(166KB)

技術報告

超電導電力機器の冷凍・冷却技術の進展 PDFダウンロード(1,976KB)
磁気軸受式小型ターボ圧縮機の開発 PDFダウンロード(858KB)
22nm世代ULSI配線用キャップ層をターゲットとしたSi-C2H4-Si豊富なPECVD-SiCH膜形成のための新規原料設計 PDFダウンロード(868KB)
ハードマスクプロセスアモルファスカーボン成膜用アセチレンガス精製装置PICO-TRAP™の開発 PDFダウンロード(734KB)

技術紹介

量産型MOCVD装置向け反応炉パーツ洗浄技術 PDFダウンロード(478KB)
ファインセラミックスの脱脂および焼結雰囲気の最適化技術 PDFダウンロード(648KB)
マルチパーパス仕様低温反応制御システム PDFダウンロード(352KB)
キャビティーリングダウン法による特殊ガス中の微量水分分析 PDFダウンロード(679KB)
大型超高純度窒素ガス精製装置 PDFダウンロード(424KB)
DR-PSA式キセノン回収装置の開発 PDFダウンロード(399KB)

設備紹介

国内最大のキセノン製造装置 PDFダウンロード(327KB)

商品紹介

液を採取する低コスト小型空気分離装置 PDFダウンロード(289KB)
最新の省電力窒素製造装置 PDFダウンロード(266KB)
レーザー加工用PSA式高純度窒素ガス発生装置 PDFダウンロード(231KB)
住宅・建材用亜鉛めっき鋼板向け溶接用シールドガス「スーパーサンアークZII」 PDFダウンロード(356KB)
硝子溶解炉向け新酸素燃焼アプリケーション「CGM」 PDFダウンロード(331KB)
アルゴンガス中微量窒素分析計 PDFダウンロード(294KB)
凍結保存容器用光ファイバ式液面計「Optical N2 View」 PDFダウンロード(1,024KB)
硫化カルボニル(COS) PDFダウンロード(122KB)

特許紹介

最近公開された出願特許 PDFダウンロード(127KB)

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