CLOSE-UP/環境負荷低減のための水素プロジェクト

世界最高クラスの化合物半導体製造 MOCVD装置/大陽日酸は消費電力低減のキーデバイスを製造するMOCVD装置で、サスティナブルな社会の実現に貢献します。

高まるLEDとパワーデバイス市場

今やスタンダードとなった薄型TV。先進国では30%以上の普及率のスマートフォン。様々なシーンで利用されるタブレットPC。これらの液晶バックライトに利用されているのがLEDです。今後、白熱電球や蛍光灯に代わる照明としても普及が見込まれています。

企業や家庭で利用されているエアコンやコンピュータ。ハイブリットカーや鉄道などの輸送機器。これらに搭載されている電源用の半導体として、高効率の新世代のパワー半導体が普及しつつあります。

世界最高クラスの量産性を実現した大陽日酸のMOCVD装置

LEDやパワー半導体は化合物半導体の応用デバイスです。大陽日酸は、化合物半導体の生産で、世界最高クラスの量産性を有するMOCVD装置UR26Kをリリースしました。

特長

  • 世界最大クラスの8インチウエハ処理枚数
  • 従来機UR25K比で約1.5倍の生産性向上
  • コンパクト設計で従来機UR25Kと同サイズを実現

主な仕様

炉タイプ
生産能力 自公転式サセプター
搬送系 6インチ10枚、8インチ6枚
加熱系 全自動式部品搬送
6分割 抵抗加熱