
高まるLEDとパワーデバイス市場
今やスタンダードとなった薄型TV。先進国では30%以上の普及率のスマートフォン。様々なシーンで利用されるタブレットPC。これらの液晶バックライトに利用されているのがLEDです。今後、白熱電球や蛍光灯に代わる照明としても普及が見込まれています。
企業や家庭で利用されているエアコンやコンピュータ。ハイブリットカーや鉄道などの輸送機器。これらに搭載されている電源用の半導体として、高効率の新世代のパワー半導体が普及しつつあります。
世界最高クラスの量産性を実現した大陽日酸のMOCVD装置
LEDやパワー半導体は化合物半導体の応用デバイスです。大陽日酸は、化合物半導体の生産で、世界最高クラスの量産性を有するMOCVD装置UR26Kをリリースしました。
特長
- 世界最大クラスの8インチウエハ処理枚数
- 従来機UR25K比で約1.5倍の生産性向上
- コンパクト設計で従来機UR25Kと同サイズを実現
主な仕様
| 生産能力 | 自公転式サセプター |
|---|---|
| 搬送系 | 6インチ10枚、8インチ6枚 |
| 加熱系 | 全自動式部品搬送 6分割 抵抗加熱 |

