エレクトロニクス/取扱い製品

半導体関連特殊ガス

高純度ガス

特定不純物が一定濃度以下で保証された固有の性質を持つ単成分の圧縮ガス又は液体ガスです。ゼロガス、キャリヤー、雰囲気などの用途に使用されます。また、半導体プロセス用にクリーン仕様製品も取り扱っています。

標準ガス

石油化学、鉄鋼関係のプロセスコントロール、各種排ガス測定に用いられる分析計の校正に使用されます。

高純度ガスを原料とし、特殊内面処理を施した容器に精密な混合装置で充填し、高精度の分析計で計測を行う厳格な生産・品質管理体制により、常に真値の追求、安定性の確保に取り組んだ信頼性の高い製品作りを行っています。また、当社の関連会社(100%出資)であるジャパンファインプロダクツ(株)は、独立行政法人製品評価技術基盤機構理事長より認定事業者として認定されており、JCSSロゴマーク入りの証明書付標準ガスを供給できます。

半導体材料ガス

ジャパンファインプロダクツ(株)にて、高品質なガスを徹底した管理のもと製造しています。半導体及び液晶の製造工程では、ガス製膜・エッチング・クリーニング等において高純度な半導体材料ガスが使用されます。また、太陽電池の製造工程でも各種の材料・ガスが使用されます。当社は国内のみならずグローバルに安全・安定的にガスを供給しています。

SDS

半導体材料ガス「SDS」(セイフ・デリバリー・ソース)は日本国内では大陽日酸が独占販売権を持ち、優れた安全性とコストパフォーマンスが半導体メーカーから高い評価を得ている、イオンインプラ装置用半導体材料ガスの新しい供給システムです。

高純度バルクガス

窒素ガス製造装置

最先端レベルの技術と長年の製作実績に基づいて設計・製作された、標準タイプの深冷分離式窒素ガス製造装置です。

半導体機器

排ガス処理装置

有毒ガスの無害化はもちろん、PFCなどの温室効果ガス削減により地球温暖化防止にも大きく貢献します。

シリンダーキャビネット

世界的なキャビネット専業メーカーSemi-Gas(R)社のノウハウを得て開発された大陽日酸のシリンダーキャビネットは他の追随を許しません。 ガスの安定供給はもちろん、地震などの天災、ガス漏洩などのトラブル発生時にも保安防災システムと連動してお客様の安全を確保します。

高純度ガス精製装置

POUに用いる小型の精製器からプラント規模の超大型精製装置まで豊富なラインナップを持ち、国内外のデバイスメーカー様や大学研究機関様などに豊富な納入実績を有しています。

MOCVD

大陽日酸の半導体製造装置は、長年培ってきたガス・ハンドリング技術、超高真空技術などをもとに開発され、独自の技術により一貫製作されています。さらに、高度化する半導体製造プロセスに最新技術で応え、信頼性と効率化を進めています。

配管工事

半導体産業で使用されるガスには高い品質が要求され、加えて危険な性質を持つものも少なくありません。「ガスを売ることは安全を売ること」〜ガスメーカーの基本理念です。

高品質なガスを安全にご使用いただくために何ができるか。大陽日酸グループは、長年培ってきた高度な配管施工技術、他に例を見ない独自溶接認定制度などの徹底した品質管理で、安全性に優れ、高品質なガス供給設備を実現します。国内外で豊富な実績を持ち、お客様から高い信頼をいただいている大陽日酸にご相談ください。全国50ヶ所以上の拠点で大陽日酸グループのエンジニアがお待ちしています。

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