エレクトロニクス/排ガス処理装置

有毒ガスの無害化はもちろん、PFCなどの温室効果ガス削減により
地球温暖化防止にも大きく貢献します。

  • 半導体製造プロセス用
    • イオン注入装置用
    • エッチング装置用
    • 減圧CVD、プラズマCVD用
    • 常圧CVD用
    • MOCVD用
  • シリンダーキャビネット ベントパージ用
  • 緊急排ガス処理用